光学相控阵电光扫描技术是一种新型高速、大空间范围的光束扫描技术。通过对电光扫描器的相位编程可以实现光束扫描、聚焦、多光束输出等多种功能。在目标探测,卫星通信,信息处理等方面都将有广阔的应用。本论文根据实际工作的要求,对该技术中的光波导阵列电光扫描器的工作原理、馈电特性和电压补偿方法进行了理论和实验研究,主要进行了以下三方面的研究工作：一.从光学相控阵原理和晶体的电光效应原理出发,讨论了光波导阵列电光扫描器的工作原理、工作特性和馈电原理。二.对扫描器的馈电特性进行了研究,主要是对扫描器各电极的电压能否按理想电压值准确加载问题进行了理论分析和大量的实验研究,主要的成果和结论有三个：1.解决了驱动电源的系统偏差问题。在找出了系统偏差的两个主要规律后,得出了各路输出的系统偏差补偿值。最后编制了数值转换程序,使驱动电源的各路输出电压值与输入电压值的偏差在0.01V以内。2.指出了扫描器各电极的电压准确加载的条件。某一电极的对地电位的准确加载只与它相邻的两个p-n结(光波导层)上所能承担的反向电势差有关,在最大反向电势差范围内,各电极上输入的电压都能准确的加载到该电极上,而与输入的电压大小无关。3.分析了扫描器各电极的电压不能准确加载时补偿可行性问题。最后分析的结论是,此种情况下的失调电压不能采用有效的办法进行补偿。三.对扫描器各电极制作工艺的一致性和各电极质量制作好坏的判断方法进行了研究,结论主要有以下两个。1.扫描器的各电极制作的好坏的判断方法。现有扫描器上制作各个电极的工艺一致性很差,用图形显示的效果反映出了对应电极在制作上的缺陷,这在器件的实际制作工艺的改进,工艺成熟性的判断上又前进了一步。2.流过扫描器各电极的饱和电流与电流随所加反向电压的变化趋势的判断。从工程角度来考虑,电极的缺陷达到什么程度可以被器件的实际工作特性所接受。也就是说,有违背电流变化趋势的电极层并不可怕,关键是要判断出电流的上限值和。这些在器件制作工艺中的关键工序的分析和控制将起一定的作用,作用的大小还要在以后的研究中得以检验和完善。