【摘 要】
：
该论文选择HfO高K栅介质作为研究对象,利用反应溅射方法制备了HfO2栅介质薄膜;仔细分析了不同的工艺制备条件对其HfO栅介质电学性质和可靠性的影响;分析了HfO栅介质中的漏电流机制和应力感应的漏电流(Stress-induced leakage current,SILC)效应以及工艺条件的影响;同时还利用反应溅射方法制备了氮化的HfO(HfON)栅介质薄膜,研究了HfON高K栅介质的电学特性.研
论文部分内容阅读
该论文选择HfO<,2>高K栅介质作为研究对象,利用反应溅射方法制备了HfO2栅介质薄膜;仔细分析了不同的工艺制备条件对其HfO<,2>栅介质电学性质和可靠性的影响;分析了HfO<,2>栅介质中的漏电流机制和应力感应的漏电流(Stress-induced leakage current,SILC)效应以及工艺条件的影响;同时还利用反应溅射方法制备了氮化的HfO<,2>(HfO<,x>N<,y>)栅介质薄膜,研究了HfO<,x>N<,y>高K栅介质的电学特性.研究取得的一些有意义的结果,主要有:1)我们成功制备了等效氧化层厚度(EOT)小于3.5nm,漏电流密度小于10<-7>A/cm <2>@Vg=-1V的HfO<,2>栅介质薄膜;2)研究了不同的Si衬底表面制备工艺对HfO<,2>栅介质性能的影响.结果表明,与传统的HF清洗的Si表面相比,NH<,4>F清洗的Si表面与HfO<,2>具有更好的热力学稳定性,因而可获得更低的EOT和栅泄漏电流密度;3)研究了溅射气氛和退火工艺对HfO<,2>栅介质薄膜性质的影响.研究显示,溅射氛围中增加氧分压和在氧气氛退火有助于减小HfO<,2>栅介质的漏电流.栅泄漏电流的减小可归于氧空位缺陷的减小,即高的溅射氧气氛和氧气氛退火有助于减小HfO<,2>栅介质中的氧空位缺陷;4)研究了反应溅射制备的HfO<,2>栅介质漏电流机制及其SILC效应.研究表明,在优化工艺条件下制备的HfO<,2>介质层中,衬底注入条件下由于其较低的体和界面缺陷密度,漏电流的输运机制主要以Schottky发射为主;SILC效应导致HfO<,2>/Si界面缺陷态的增加,从而使得衬底注入条件下,栅泄漏电流机制不仅有Schottky发射还有F-P发射机制起主要作用;5)初步研究了氮化的HfO<,2>(HfO<,x>N<,y>)栅介质的电学特征.结果表明,与HfO<,2>相比,氮化的HfO<,2>具有小的漏电流.
其他文献
众所周知，作物产量的90％来自光合产物的积累，所以开展作物的高光效育种研究意义重大。然而到目前为止，关于miRNA对光合相关基因表达调控的研究较少。 为了研究miRNA对光合相关基因的表达调控作用，本论文以正在发育的玉米叶片为实验材料，通过small RNA-seq(sRNA-seq)文库构建、Illumina高通量测序和生物信息学分析，挖掘可能参与调控光合作用的miRNA及其靶基因，并通过RL
凹耳臭蛙（Odorranatormota）是我国特有的山溪蛙，也是第一个被发现用超声波进行通讯的非哺乳类脊椎动物。由于凹耳臭蛙的分布范围狭窄，数量不多，人类活动导致的栖息环境破坏，已经被列为濒危保护动物。主要组织相容性复合体（MajorHistocompatibilityComplex，MHC）基因与脊椎动物免疫相关，与有些脊椎动物的性选择也相关。本研究利用生物信息方法，从转录组水平上分析凹耳臭蛙
纯手性的晶态固体材料，特别是孔洞尺寸可调节孔隙率高的金属有机骨架材料，其在非对称催化、手性识别方面有重要的潜在应用功能。但是想要得到纯手性的材料却非常昂贵和困难。非手性前体通过自发拆分和对称性破缺得到单一手性材料吸引了很多人的兴趣。在这里，我们报道基于非手性配体4-咪唑甲酸和乙酸钴反应，通过自发拆分得到一种手性二价钴的金属有机框架结构。即使不加入任何手性源，不同的溶剂热条件下会不仅会得到常见的外消
养殖病害频发、种质退化严重被认为是目前影响我国对虾养殖业可持续发展的瓶颈，要成功解决这些问题，其中关键环节之一就是加强对虾基础性研究，揭示对虾自身免疫防御机制，寻找对虾病害防控、良种选育等的有效方法。有趣的是，近年来包括本课题组在内的国内外研究表明，对虾血蓝蛋白（hemocyanin，Hc）不仅具有抗病毒、抑菌等多种免疫学活性，而且还可以产生多种功能性降解肽段。然而迄今为止，与对虾抵御重要病原——
燃料电池是将化学能直接转化为电能的高效能量转换装置。在阴极发生的氧还原反应是整个燃料电池的速控步骤，阴极催化剂控制了燃料电池中催化反应的速度，其性能是影响燃料电池性能的主要因素；目前最有效的阴极催化剂是Pt基催化剂，但此类催化剂却因价格昂贵、易被CO毒化、抗甲醇性能差和寿命短等缺点，而成为限制燃料电池发展的主要瓶颈。因此构建和制备高效、稳定性好、成本低的非铂催化剂用于催化动力学缓慢的氧还原反应就显
生物金属-有机框架（BiologicalMetal-OrganicFramework,简称BioMOF）是金属-有机框架（Metal-OrganicFramework,简称MOF）的一个新兴分支。BioMOF具备了传统MOF的优点，同时又有自身独特的优势，BioMOF往往具有生物兼容性，在载药、荧光探针、生物造影剂等方面显示出强大的应用潜能，是当前MOF领域的热点方向。 在本论文中，我们采用生物
癌症是目前危害人类健康和生命的高致命性疾病，其中化学治疗是主要治疗手段之一。但由于化学治疗药物对正常细胞的毒副作用以及肿瘤细胞耐药性的出现，寻找新型抗癌药物代替传统化学药物，势在必行。近年来，人们发现小分子多肽由于具有亲和力高，靶向特异性强，毒性低和分子量小等特点，其具有开发为新型肿瘤治疗药物的巨大潜力。值得一提的是，课题组前期通过化学合成获得了12条源于凡纳滨对虾（Litopenaeusvann
目前纳米级制剂已成为许多研究的焦点，为了增加抗癌药物的溶解度和应用范围，在开发新的药物递送系统中可以采用许多方法，其中引起很多关注的方法是制备靶向药物载体。这些纳米载体具有高特异性，它们避免了对正常组织的损害。纳米级制剂可以被癌组织或细胞选择性地吸收，从而赋予它们被动靶向功能。 为了增强纳米级抗癌药物递送系统的肿瘤靶向性，可控的药物释放和对于靶位点的治疗功效，大量的新型药物载体被研究与应用。壳聚
地表水和地下水硝酸盐污染不仅会对人类的生产生活用水安全造成隐患，同时也会造成水体季节性缺氧和水体富营养化等问题。近年来，由于工业化进程的加快，汾河流域受到人类活动干扰的强度也不断加大。汾河流域地表水和地下水硝酸盐污染日益严重，已对沿岸居民的生产生活造成影响。 准确掌握地表水和地下水转化过程和污染过程，甄别硝酸盐污染来源，区分点源污染与面源污染，是控制地表水和地下水硝酸盐污染的有效途径。汾河流域位
二氧化钒(VO2)是一种热致相变材料，它在68℃附近会发生从低温半导体态到高温金属态的可逆相变，同时伴随着电阻率和光学性质的突变。VO2薄膜中掺入其它元素可以把薄膜的相变温度降低到室温附近，因此掺杂VO2具有广阔的应用前景。通过反应磁控溅射法和真空退火处理结合的方法在玻璃基片上制备掺钨VO2薄膜(V1-xWxO2)。研究过程中，用XPS、XRD、SEM、AFM和台阶仪对薄膜的成分、微观结构、形貌和