基于石墨烯的MEMS压力传感器的设计与工艺研究

来源 :北方工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：forcet

【摘要】

：

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)传感器技术因其具有体积小、成本低、可靠性强、易于集成、易于进行批量生产、和易于实现智能化等特点而广泛应用于各个领域。目前的MEMS传感器多运用硅作为基底,硅的材料本身决定了其传感器不具备柔性特性,经过多年的发展,硅材料在MEMS领域的研究也早已进入了瓶颈,很难再有所突破。石墨烯是目前科学界前沿、火热的新型半导体材料,相较于硅

【作者】

：

刘宁

【出处】

：

北方工业大学

【发表日期】

：

2019年07期

【关键词】

：

石墨烯压力传感器电容式传感器柔性传感器

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

其他文献

综采工作面综合防尘技术措施

综采工作面回采的过程中会出现较多烟尘,不仅会污染作业环境,还会对施工人员的身体健康构成影响,严重情况下还会出现安全事故。以某煤矿工作面为例,分析综采工作面综合防尘技

期刊

综采工作面防尘技术措施安全事故

浅谈新形势下电力企业的维稳工作

稳定工作关系全局,稳定工作无小事,责任重大、任务艰巨。新形势下,电力企业必须利用好重要的发展机遇期,从多方面、全方位采取措施维护稳定工作,转变经济发展方式,以市场需求

期刊

电力企业新形势维护稳定意义措施

湘潭高新房产平安家园项目实施阶段风险管理研究

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

学位

高新房产平安家园项目实施阶段风险管理方案

颞骨胆脂瘤772例临床分析

会议

基于二氧化碳介质的小肠仿真内镜临床应用研究

目的：观察应用二氧化碳（CO2）作为小肠CT仿真内镜（CTVE）造影介质的有效性与安全性。方法：选择疑为小肠疾病患者62例,随机数字表法分为观察组、空气组各31例。观察组以CO2作为成像介

期刊

二氧化碳螺旋CT小肠仿真内镜安全性

创新教育理念转变教学模式——山东省济南特殊教育中心职业教育发展纪实

特殊学校的职业技术教育,是特殊教育的重要组成部分,是促进残疾学生成才的基本形式和有效途径,也是特教学校发展的方向。自从学校成立的那天起,我们就将“把残疾人培养成残而

期刊

职业教育发展职业技术教育特殊教育实习基地山东省济南教学模式创新教育理念

课堂教学中如何渗透数学思想方法

如何把抽象的数学思想方法有机融合到学生们的学习中去，是我们每一位数学教师值得思考的问题．其实，我们可以从小处着手，从具体着手，并借助日常生活来渗透数学思想方法，激发学生们的

期刊

数学思想方法实物演示法图示法列表法探索观察法

有关高等教学质量评估的几个问题

一、影响高等教学质量的因素与教学质量评估对象高等教育主要是为大学生提供教育服务,因此,高等教学质量的高低应该用为大学生提供教育服务质量的高低以及大学生的基本素质和

期刊

高等教育教学质量教学评估教学管理教师

DGPS/RA精密进近及红处辅助着陆系统设计

利用成熟的GPS、无线电测高、红外成像等先进技术,设计了DGPS/RA精密进近及红外辅助着陆系统,该系统可以提高飞机的战术性能指标和生存能力,对大型飞机特别是军用飞机具有广

期刊

仪表着陆系统差分GPS无线电高度表

高中生物教学中启发式教学运用策略

启发式教学指的是在教学中教师根据教学目标和学生实际情况,运用多种方式启发学生思维、促进学生思考与探究,调动学生学习主动性与积极性的教学方式。高中生物教学中,教师可

期刊

高中生物启发式教学问题情境目标层层推进思维导图

基于石墨烯的MEMS压力传感器的设计与工艺研究

与本文相关的学术论文