在现代高性能集成电路中,由于亚微米和深亚微米技术的发展,射频与微波集成电路中器件和单元电路的尺寸越来越小,集成度越来越高,器件间的耦合越来越强,依靠等效电路近似法和调试经验的经典微波无源器件设计方法已很难适应高精度、高要求的场合。因此,电磁场数值方法已经成为对微波集成电路进行分析设计的一个重要手段。随着微波集成电路特征尺寸的减小,在对其进行数值分析时,产生的未知量往往非常巨大,计算十分困难;为了对微波集成电路的几何结构进行精确的模拟,使得几何建模时的剖分尺寸远远小于波长,这时,传统的RWG基函数、加略金匹配法产生的阻抗矩阵几近奇异,条件数极差,存在不稳定性问题。因此,需要采用新型的基函数来解决这一问题。本文正是针对微波集成电路分析困难的问题,采用基于积分方程的全波分析方法对微波集成电路等平面分层结构电路进行分析计算。主要内容为:首先,介绍了分层介质中的电场及混合位积分方程,并对格林函数推导出由准动态、表面波、复镜像组成的闭合形式的表达式,从而加快了索末菲尔德积分的计算速度。其次,基于传统的RWG基函数的分析方法在计算低频及微波集成电路中大量存在的精细微小结构问题时,存在不稳定性问题。本文采用loop-tree基函数对其进行计算,它将有散电流与无散电流分开,很好地解决了RWG基函数存在的不稳定性问题。最后,介绍了两种用在矩量法分析过程中的S参数提取技术。并对一些微波无源器件的散射参数进行了提取,与等效电路方法的计算结果进行了比较。本文所用方法具有以下优点:1.采用平面分层介质格林函数对微波集成电路中的平面分层介质进行模拟,只需在金属表面进行剖分,具有未知量少的优点;2.对平面分层介质格林函数推导出了闭合形式的表达式,加快了格林函数的计算速度;3.采用loop-tree基函数取代了传统的RWG基函数进行计算,解决了RWG基函数在计算精细复杂结构物体时存在的不稳定性问题。所编制程序可用于对平面分层介质结构的微波集成电路进行参数提取及分析计算。