在当今物联网迅速发展的信息化时代,传感器作为获取信息的基础设备越来越被人们所重视。紫外传感器作为传感器家族中重要的一员,在紫外光通信、环境监测、火焰检测和导弹预警等领域有着重要的应用。氧化锌（ZnO）是一种直接带隙宽禁带半导体,室温下禁带宽度是3.37 eV,激子束缚能高达60 meV,对可见光不敏感而对紫外光敏感,且容易获取成本低廉,化学稳定性好,是制备高性能光电导型紫外传感器的理想材料。ZnO紫外传感器在近些年取得了非常大的进展,制作高灵敏度、快速响应恢复以及性能稳定的高性能紫外传感器一直都是研究的热点。ZnO纳米线网络紫外传感器具有超高的灵敏度,在1 mW/cm²的365 nm紫外光照下灵敏度达1.98×10⁸,响应时间为298 s,恢复时间为234 s。器件的响应恢复速度比较慢,严重影响了ZnO纳米线网络紫外传感器的应用。大量研究表明表面功能化是一种提高ZnO紫外传感器性能的有力手段。氧化锡（SnO₂）的禁带宽度分别为3.6 eV,电子亲和能分别为4.9 eV。在ZnO线表面修饰SnO₂,构造局部异质结在ZnO表面形成载流子耗尽层,减少ZnO表面的氧吸附和解吸附过程,提高ZnO纳米线网络紫外传感器的性能。本论文通过在ZnO微米线表面修饰SnO₂纳米颗粒,得到了快速响应恢复的SnO₂/ZnO微米线紫外传感器,未修饰SnO₂和修饰SnO₂的器件在1 V偏压下,对1 mW/cm²的365 nm紫外光灵敏度分别为958/517,响应时间分别为67 s/720ms,恢复时间分别为510 s/360 ms,修饰SnO₂的器件对1μW/cm²的紫外光具有探测能力,开关比为18.3。在ZnO纳米线网络紫外传感器上修饰SnO₂纳米颗粒,得到了灵敏度较高,响应恢复速度较快的SnO₂/ZnO纳米线网络紫外传感器,未修饰SnO₂和修饰SnO₂的器件在1 V偏压下,对1 mW/cm²的365 nm紫外光灵敏度分别为1.65×10⁷/2.10×10⁷,响应时间分别为67 s/600 ms,恢复时间分别为280 s/510 ms。通过控制SnO₂纳米颗粒修饰用量实现了对ZnO纳米线网络紫外传感器性能的调控,灵敏度变化范围6.76×10⁵⁷.29×10⁸,响应时间变化范围50 s⁷2 ms,恢复时间变化范围280 s²7 ms。其中调节SnO₂修饰量,器件对1 mW/cm²的365 nm紫外光最高灵敏度达7.29×10⁸,响应时间为2.5 s,恢复时间为7.5 s。另外SnO₂修饰量最大时,器件在1 mW/cm²的365 nm紫外光照下响应/恢复时间最快分别为72 ms/27 ms,灵敏度为6.76×10⁵。研究中发现ZnO纳米线网络传感器的性能稳定性较差,在持续光照下光电流下降明显。对器件进行长时间紫外光照处理,分析了器件光电流下降的原因。使用退火处理的方法改善器件的稳定性,得到响应时间为690 ms、恢复时间为450 ms、灵敏度为2.26×10⁶且性能稳定的紫外传感器,该器件对极弱的紫外光也有良好的响应性能,对光强仅为20 nW/cm²的紫外光灵敏度达348。