【摘 要】
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本文介绍的高精度温度测量系统是高精度测温仪和温度检测元件——热敏电阻器相结合的温度测量系统.文章中分析了影响测量精度的主要误差因素,并提出了相应的解决方法.高精度
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本文介绍的高精度温度测量系统是高精度测温仪和温度检测元件——热敏电阻器相结合的温度测量系统.文章中分析了影响测量精度的主要误差因素,并提出了相应的解决方法.高精度测温仪采用抗干扰、性能稳定的电子元件;采用恒流源比较法测量热敏电阻温度传感器在不同温度下的阻值,避免了恒流源不稳定、电压偏移等影响.选用高精度的热敏电阻器并对热敏电阻进行了实验室标定;选用合理的数学模型、科学的数值处理方法等.实际测量表明,使用恰当的热敏电阻器可以在较窄的范围内(0℃-60℃)达到很高的精度.另外,为了实现从中央控制台对测温过程进行远距离操作、控制以及数据采集等功能,本课题组为上级计算机进行了控制测温仪表的软件编程,最终实现了上级计算机亦即控制光刻机整体动作的计算机和高精度测温仪之间的通信.最后,关于进一步工作的方向进行了简要的讨论.
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