【摘 要】
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由于该文所要介绍的静电感应光敏晶体管(SIPT)是一种新型固态光器件,它相当于多个PIN光敏二极管并联且自带一个线性好、增益高、频带宽、噪声小的静电感应晶体管(SIT)放大的
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由于该文所要介绍的静电感应光敏晶体管(SIPT)是一种新型固态光器件,它相当于多个PIN光敏二极管并联且自带一个线性好、增益高、频带宽、噪声小的静电感应晶体管(SIT)放大的光敏探测器,因而具有灵敏度高、增益大等优点.所以,该文从半导体光敏二极管的主要特性和参数出发,首先对这些参数作了简要的介绍,以便后面的讨论.接着是对P-N结型光敏二极管和PIN型光敏二极管的讨论.从其结构、工作原理、特性及其应用作了简单地概述,并对其重要的光电参数进行了定性和定量的描述,得出这些参数与工艺条件和器件结构的关系,这些关系对器件的制备具有很重要的指导意义.同时,也为后面将要提出的静电感应光敏晶体管(SIPT)提供了一定的理论依据.接着是对静电感应晶体管SIT结构、特性、参数以及应用等进行介绍.第四章对SIPT的结构、工作机理、特性、Ⅰ-Ⅴ特性、设计及其应用等作具体的讨论.论证了该器件与其它同类器件相比所具有的优点.在此基础上提出了该器件在工艺上的实现方案,进行了器件结构的设计和试制.最后通过对SIPT的Ⅰ-Ⅴ特性的实验结果和模拟结果的比较分析,并得出了结论.
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