科技在日新月异的高速发展,精密定位技术的精度也在不断的提高。怎样设计出具有更高精度的微位移平台成为当前精密定位技术发展的一个必然趋势。微动平台的刚度是影响其精度的重要因素,因此对刚度的分析至关重要。首先,本文以并联机构、柔顺机构等理论为支撑设计了一类以全柔顺并联机构为主要构件的精密定位平台；其次,依据虚功原理和单元动力学方程设计了一种对全柔顺并联机构静刚度的求解方法；最后,应用软件对所求结果验证,得证该方法的正确性。论文的主要工作包括：1、从三类(3T1R、2R2T、3R1T)四自由度并联机构中分别选出一种机构,并利用螺旋理论分析其运动特性；2、根据所选并联机构(型号：4-CRU型、2RPU-2SPS型、4-RPUR型),通过柔性铰链替换法、柔顺机构学等相关知识设计出相应的全柔顺并联机构,使其作为精密定位平台的主要构件；3、利用单元动力学方程、全柔顺并联机构的结构特征等知识,求解全柔顺并联机构的静刚度；根据虚功原理,得出动平台的应变；4、利用ANSYS软件,分别对4-CRU型全柔顺并联机构、2RPU-2SPS型全柔顺并联机构和4-RPUR型全柔顺并联机构进行建模仿真,并得出其应变；5、将求解数据和仿真数据对比,得证所设计方法正确。结果：1、所设计方法正确。2、通过三类四自由度全柔顺并联机构的整体刚度的计算,均得出合理的结果,说明此种方法不仅适应于特例,并且具有一般性。3、全柔顺并联机构的设计及其刚度的计算,丰富了精密定位平台的类型,提高了精密定位平台的精度。