精密定位平台相关论文
历经四代发展,同步辐射光源已逐渐成为基础科学和工业应用等领域不可或缺的大科学装置。同步辐射光束线装置分布距离长且环节复杂,......
机械导轨式直线定位平台在电子制造装备中具有广泛应用，然而受导轨摩擦的影响，其定位精度难以达到纳米量级，为此设计了一种刚柔耦合定......
随着科学技术的发展,精密加工技术已成为影响制造业发展的重要因素,导致对定位技术精度要求变得更高,传统刚性并联机构的工作性能......
根据PPR支链的特性,分析并联机构的运动原理,设计出PPR驱动链的机械结构,拟定3-PPR并联平台的整体设计方案,优化并联机构和确定运......
精密定位平台是精密机械中的关键部件,有着广泛的应用。随着人们需求的日益提高,传统的旋转伺服加丝杆的驱动方式已不能满足人们的......
精密定位技术在微纳操作、精密制造、精密测量等领域应用广泛,一直是国际上的研究热点之一。在这一背景下,本论文对基于波纹簧片型......
基于柔顺机构学、机械原理和空间机构学,设计了由压电陶瓷驱动器驱动的六自由度柔性精密定位平台.利用伪刚体法和虚功原理对平台进......
超声电机是20世纪80年代发展起来的一种新型微特电机,具有力矩/重量比大、低速大力矩、响应速度快、保持力矩大和断电自锁等优点,......
为了解决传统压电陶瓷驱动器所固有的高精度与大行程的矛盾,提出了一种新型可直接外力驱动的三自由度并联精密定位平台,利用压电直......
设计了一种基于柔顺铰链的一维高精度手动平台.平台采用复合柔顺机构作为传动机构.首先建立该平台的理论模型,对工作台的静态特性......
柔性铰链可由单一的材料以一体成形的方式制造而成，使系统无滑动的现象产生，从而在结构上形成了一个无接口摩擦的完美机构。因此，在精......
随着 IC技术的发展，IC芯片的引脚密度越来越高，人们对IC封装设备的运动速度和精度的要求越来越高，基于 IC封装的大行程、高速精密定位......
精密定位平台作为精密制造与测量、微纳米操纵技术、半导体封装等领域的关键技术之一,有着极其重要的应用价值和理论研究价值。随......
精密定位平台是精密制造、微电子、光学工程等领域的的核心支撑技术，相关领域的发展对精密定位技术提出了更高的要求。非共振型压电......
微细加工的加工尺度、精度和加工稳定性对其加工系统提出了更高的运动控制精度、分辨率、实时性等要求。宏微两级精密定位平台已广......
本文对微流控芯片的自动对准机理与自动对准系统的关键技术问题进行了研究,并以自行研制的一台PMMA微流控芯片自动对准台为例,从理......
随着材料科学及先进制造业的快速发展，微米、纳米级别的高精度定位平台技术得到了广泛、深入的研究和发展。在光刻机、同步辐射光源......
科艺自动化部门新近开发出了采用Newport精密定位平台为核心部件．应用于平面光波导（PLC）分路器封装的“ApicoAuto—Align”自动耦合封......
针对磁悬浮精密定位平台的运动稳定性问题,设计了一种新型六自由度磁悬浮精密定位平台.该平台采用12个空心电磁线圈做定子、36块永......
香港科艺仪器有限公司以Newport精密定位平台为核心部件．开发出了应用于平面光波导（PLC）分路器封装的Apico Auto—Align自动耦合封装......
针对所研制的X-Y精密定位工作台系统的设计要求,采用分析建模法,求出了宏平台进给系统的传递函数,通过实验获取宏平台进给系统的摩......
提出一种将计算机微视觉与鲁棒多尺度运动估计算法相结合的测量微运动的方法。设计一种用于微运动测量的鲁棒多尺度运动估计算法。......
针对一种2-DOF精密定位平台,基于误差迭代法与最小二乘法,提出一种几何误差分步辨识方法.对于给定的期望末端位置,采用迭代法计算......
设计了一种由压电陶瓷驱动的整体式平面3-PRR柔顺并联定位平台,平台每条支链采用半圆型柔性转动铰链和直角型柔性直线铰链代替传统......
为了实现3-RRR柔顺并联精密定位平台的精确运动,研究了它的封闭形式精确运动模型和尺寸优化设计。采用卡氏第二定理建立精密定位平......
针对目前用于原子力显微镜的扫描定位平台带宽低、行程小、耦合性能差等问题,提出了一种基于柔性梁的高带宽两自由度精密定位平台......
细胞生物医学、纳米材料科学、半导体制造以及宇航工程等前沿领域的发展离不开微纳精密驱动技术的广泛应用,这些应用场合普遍需要......
提出了采用Jiles-Atherton磁滞模型理论和动态递归神经网络(DRNN)前馈-PD反馈控制策略来提高超磁致伸缩驱动精密定位平台的定位精......
针对音圈电机驱动的X-Y定位平台中稳态误差导致的系统定位精度较低的问题,提出了基于敏感函数逆的前馈补偿控制方法。首先,采用频......
科技在日新月异的高速发展,精密定位技术的精度也在不断的提高。怎样设计出具有更高精度的微位移平台成为当前精密定位技术发展的......
现代科学技术正迅速向微小、超精密领域发展,由微米级、亚微米级进入到纳米级阶段。随着微纳制造、微电子、生物医学工程等技术的......
介绍了一款杆式旋转超声电机,它由一个定子和两个转子构成,利用两个一阶弯曲振动模态工作。将该电机应用于驱动精密定位平台,并构......
随着现代化技术的发展,微纳米制造工艺的不断提高,对精密定位平台的分辨率以及精度提出了更高的要求。为了确保精密定位平台可以实......
