大行程精密定位平台偏摆误差分析及补偿方法研究

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大行程精密定位平台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域占有重要地位,随着科学技术的不断发展,对平台定位精度的要求也越来越高。为满足纳米光刻、超精密加工和微电子工程等新兴领域对相关设备高精度定位的要求,本课题针对直线电机驱动、气浮导轨支撑和导向的大行程精密定位平台,从分析其偏摆误差入手,研究偏摆误差对定位精度的影响及相应补偿方法。本文首先针对大行程精密定位平台偏摆误差的导致因素进行理论分析,建立相关误差模型。基于气浮导轨滑块副简化的弹簧质量阻尼系统,建立精密定位平台两自由度的偏摆振动模型,计算
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