稀铋半导体材料分子束外延生长与器件研究

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在传统的Ⅲ-Ⅴ族半导体中掺入少量的铋(Bi)形成的稀铋半导体材料具有许多奇异性质和应用潜力,比如GaAsBi具有大的带隙收缩效应、大的自旋轨道分裂能及高的温度稳定性等优点,有望用其制备高性能非制冷光通讯半导体激光器。GaAsBi是稀铋半导体材料研究的热点,但是目前GaAsBi激光器材料的分子束外延生长技术还不成熟,器件室温激射波长拓展困难。此外,InPBi在室温下展现出很强的近红外发光,有望制备轴向分辨率达到1微米的宽光谱光源,但是InPBi材料的研究才刚刚起步,非常有必要研究其生长规律和物理性质。  本工作着眼于InPBi、GaAsBi、GaAsBi/InGaAsⅡ型量子阱及GaAsBiⅠ型量子阱激光器材料的分子束外延生长、物性表征与光学质量优化,展开了下述研究工作:  1、首次系统地研究了InPBi气态源分子束外延生长规律及束流条件与物性的关联。研究发现,铋的凝入对PH3压不敏感,过大的PH3压不仅会恶化InPBi表面平整度、增加载流子浓度,而且会导致发光峰的蓝移与减弱;其二,InPBi中铋组分与生长速度成反比,较低的生长速度有利于生长表面平整、铋组分较高的InPBi单晶;其三,证实了铋的表面剂效应,同时铋的凝入能引入受主能级,室温下电子补偿浓度高达1.17×1018cm-3/Bi%。  2、首次研究了InP1-xBix薄膜的室温背散射拉曼光谱。研究发现铋的凝入会形成确定的InBi声子振动模式(InBi TO=149cm-1和InBi LO=171cm-1)。其次,这些模式的拉曼散射强度与铋组分(x≤0.023)呈线性关系,可以作为测定三元或四元稀铋磷化物铋组分的一种纯光学方法。  3、创新地提出了一种基于InGaAs/GaAsBiⅡ型量子阱的波长拓展方案,从实验和理论上研究了其发光规律。在光致发光实验中,观察到了更长波长的Ⅱ型发光;采用8带k·p模型计算了Ⅱ型发光波长与铟及铋组分的关系,计算表明该类Ⅱ型量子阱有望将现有GaAs1-xBix(x≤0.06)激光器的工作波长拓展至1.3微米;采用变温和交激发功率光致发光方法,研究了该类Ⅱ型量子阱的发光性质,观察到了能带弯曲效应和载流子逃逸现象,实验结果与理论计算一致。  4、在较高温度区间(350-400℃)研究了生长温度、束流条件、量子阱厚度对GaAsBi/(Al)GaAs量子阱发光波长和强度的影响。研究发现,砷束流对发光有显著影响。当生长温度高于350℃时,铋组分对砷束流的敏感性显著升高。其次,研究发现合适的有源区生长温度既有利于铋的凝入,也有利于量子阱光学质量的提高,研制通讯波段激光器的理想生长温度为350~370℃。基于有源区的生长优化,生长了渐变折射率分别限制(GRINSCH)结构的GaAsBi/GaAs单量子阱激光器。TEM结果显示激光器有源区具有良好的结构质量,量子阱厚度比设计值小2nm,揭示了铋在量子阱生长初期很难凝入的生长性质。外延生长的GaAsBi量子阱激光器材料已经成功用于制备国内第一个稀铋半导体激光器,在室温下实现了1136nm脉冲激射,打破了现有1060nm的世界记录。激光器在273K获得了1132nm的连续激射,阈值电流密度为5.17kA/cm2,波长温敏系数为0.27nm/K,250~350K工作温度区间特征温度为74K。该工作给国际上稀铋半导体材料与器件研究带来了积极的推动作用。
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