发光条纹是气体放电中的一种非线性物理现象,研究射频气体放电中的条纹现象有助于探索射频放电中的基本物理特性及加强射频气体放电在工业生产和科学研究中的应用。本论文通过实验,对射频容性耦合放电中的条纹现象及其特性进行了研究。采用13.56 MHz射频电源驱动,在氩气(Ar)中分别获得了移动球状条纹和稳定的层状条纹,并进一步研究了工作条件对两种条纹的影响。实验结果表明,较低气压、直径较小的放电腔室内将获得层状条纹;而球状条纹出现在气压更高、直径较大的放电腔室中。层状条纹时间积分图像可呈现稳定的双层结构,这是由于在每个周期内,射频电场的变化使条纹发生微小的移动。在探究球状条纹的形成规律实验中发现,放电过程中功率电极和接地电极表面可分别形成球状条纹,并向远离电极区域移动,在移动过程中出现相邻条纹合并现象和条纹消失现象。空心功率电极放电中出现的单侧条纹表明,电容耦合(CCP)放电条纹的形成与电极附近的高电子密度相关。在较高功率条件下,电极表面附近形成多个条纹化放电通道分支,多个条纹化放电通道分支呈现出自组织特征。本论文首次在容性耦合射频放电实验中同时获得了条纹及自组织条纹分支现象。论文完成的工作将有助于进一步理解射频放电中的条纹现象。