微流控芯片作为微全分析系统（μTAS）的一个重要研究分支，凭借其高度集成化、便携化、低成本等优点，融合了众多学科的研究成果，受到了广泛的关注。它的加工采用了目前比较成熟的微机电系统（MEMS）技术，将微驱动控制装置、微流通道、储液池、废液池、检测系统以及各种功能器件全部集成到一个芯片上，从而完成整个的生物分析过程，促进医学和生物学向新的方向发展。微流式细胞仪（Micro-cytometer）目前在微流控发展中占据举足轻重的作用，它可以克服传统流式细胞仪体积大、高成本、样品需求量大等很多缺点，使得流式细胞仪在血液检测、分析等方面的优点能够在航空、航天、军用以及民用等方面得到更好的发挥。目前微流式细胞仪发展中遇到的一个问题便是微流通道的研究、制作，由于微流控的尺度问题，导致诸如毛细效应、扩散效应等问题，同时由于MEMS加工技术的限制，对于微流通道的设计、加工的研究也比较单一，对于微流体聚焦通道的设计、制作都是基于流体的一维方向。本文首先对于微流尺度下流体的流动机理、流体动力学方程进行了研究，结合本论文中所要设计的微流体通道，等效出来了泊肃叶模型并进行了流体方程分析。然后根据微流体检测通道的应用，设计了微流体通道结构及参数，结合Fluent进行了仿真分析和验证。通过与微流体通道加工中常用的材料性能对比，本文中设计、制作的微流体检测通道最后使用到材料有SU-8光刻胶和聚二甲基硅氧烷（PDMS）。使用SU-8光刻作为微流体检测通道阳模结构，并且采用了斜曝光原理，制作了用于三维聚焦流体的斜坡。对PDMS倒模、PDMS与PDMS相互倒模、PDMS与PDMS相互键合封装进行了详细研究，最后成功的制作了用于三维聚焦的PDMS微流体检测通道结构。论文最后初步给出了微流体检测通道的测试结果，包括微流体通道的流通性测试、微流通道的聚焦特性测试、并且初步进行了微流体荧光颗粒的测试，得到了较好的结果。