【摘 要】
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硅基液晶空间光调制器(LCoS-SLM)因其具备高空间分辨率、高开口率、低功耗等优势且具有灵活独立寻址的能力而被广泛应用于各种需进行相位调控的场景。近年来,随着应用需求的提高,对波前控制精度的要求更加严格,LCoS-SLM的波前调制性能如响应速率、调制精度、调制准确度等,将直接影响其能否满足应用场景的要求。本文从时域和空域两个角度对LCoS-SLM相位调制特性中存在的相位抖动现象及边缘场效应进行了
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硅基液晶空间光调制器(LCoS-SLM)因其具备高空间分辨率、高开口率、低功耗等优势且具有灵活独立寻址的能力而被广泛应用于各种需进行相位调控的场景。近年来,随着应用需求的提高,对波前控制精度的要求更加严格,LCoS-SLM的波前调制性能如响应速率、调制精度、调制准确度等,将直接影响其能否满足应用场景的要求。本文从时域和空域两个角度对LCoS-SLM相位调制特性中存在的相位抖动现象及边缘场效应进行了精确测量和表征,主要研究内容如下:(1)从液晶空间光调制器的结构、驱动电路工作原理及液晶分子响应过程出发,分析了产生时域相位抖动和空间域边缘场效应的原因。(2)采用Matlab Simulink构建了LCoS物理模型,仿真分析了帧率、灰度值对相位抖动的影响;搭建光路测量了LCoS-SLM在进行相位调制时的时域响应波形,对其进行频谱分析,得到不同灰度值下的相位抖动频率与器件的帧率一致,但抖动幅度有差异;并利用傅里叶级数对相位的周期性抖动进行了数学表征。(3)采用有限差分迭代法对LCoS中液晶分子指向矢分布和电势分布进行仿真计算,从理论上仿真分析了LCoS-SLM边缘场效应的起因;基于偏振干涉原理搭建边缘场效应测量光路,实验测量了LCoS-SLM相位调制时的空间相位变化,结果表明回程宽度与相邻像素的相位差符合三次函数关系;采用点扩散函数(PSF)近似分析模型计算了边缘场效应下的LCoS相位分布,与实验测量值的均方根误差小于0.0148π。
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