【摘 要】
:
旋转对称结构微型壳体振动陀螺具有精度高,带宽宽,动态范围大,品质因数高以及抗干扰等潜在优异的性能,引起了国内外学者广泛的研究兴趣。目前,国内相关方面的研究还比较少,与
论文部分内容阅读
旋转对称结构微型壳体振动陀螺具有精度高,带宽宽,动态范围大,品质因数高以及抗干扰等潜在优异的性能,引起了国内外学者广泛的研究兴趣。目前,国内相关方面的研究还比较少,与国外差距比较大。微型壳体振动陀螺制造的核心仍是谐振结构加工工艺问题,加工工艺的难易制约着微型壳体振动陀螺的发展。本文主要围绕着微型壳体振动陀螺谐振结构的加工工艺问题,研究了不同材料的微型壳体振动陀螺谐振结构的加工工艺,旨在探索出一种加工相对简单、工艺一致性较好的微型壳体振动陀螺加工工艺。本文主要从以下几个方面开展研究工作:1.介绍了微型壳体振动陀螺的主要结构形式和工作原理,并理论分析了基于静电驱动和电容检测的微型壳体振动陀螺的固有振型。2.分析了激光刻蚀技术的基本原理,研究了激光加工参数对单晶金刚石刻蚀质量的影响。基于激光刻蚀工艺,实现了单晶金刚石的微型壳体振动陀螺微杯形谐振结构的加工并分析了激光刻蚀加工谐振结构的技术特点。3.阐述了硅各向同性湿法腐蚀的基本原理,实现了硅半球面的加工。利用各向同性湿法腐蚀,实现了圆筒状陀螺谐振结构的加工并分析了硅各向同性湿法腐蚀加工谐振结构的技术特点。4.介绍了微壳体振动陀螺谐振结构的玻璃吹制工艺的基本原理。基于此,实现了微型壳体振动陀螺圆盒状谐振结构和微圆柱壳体谐振结构的加工并分析了玻璃吹制工艺加工谐振结构的技术特点。
其他文献
由于表面等离子体共振效应,金属纳米结构阵列表现出强烈的表面增强拉曼散射(SERS)效应,进而有望用于物质分子的高灵敏即时检测。目前对增强机理的研究还比较欠缺,本文基于纳
电磁阀利用通电线圈激磁产生电磁力,驱动阀芯运动以开启或关闭阀,是自动控制领域重要的执行部件.电磁力和功率消耗是电磁阀非常重要的技术指标.合理的电磁阀设计应当既保证电
本论文以新研制的九自由度弧焊机器人系统为背景,详细介绍了焊接机器人柔性工作站系统的硬件选型、PLC控制系统的软硬件设计、伺服控制系统的软硬件设计、CAN-BUS节线模块的软
发动机飞轮的主要功能是将发动机做功行程的部分能量储存起来以克服其他的行程的阻力,使曲轴均匀稳定旋转.发动机可以说是各动力机械的心脏,其质量好坏、运行状态直接影响整
标志设计是表明某种意义特征的记号、标记。它的表现手段是利用图形以及文字来构成具体可见的象征性的视觉符号,并将这一视觉符号中的内容、信息、观念传达出去。
Logo desi
管路系统主要用来传递物质流或能量流,在工程领域发挥重要作用。管路内介质主要为流体介质,存在管壁结构振动和流体压力脉动。两者相互作用使得振动和噪声更加难以控制。管路振
产品数据管理(PDM)作为CIMS中支撑产品全生命周期设计与制造的软件平台,占据了现代集成制造系统中重要的地位。PDM系统中的工作流管理(WfM)技术是现代制造企业实施分布式网络化制造战略的使能技术,它能更好地管理和优化经营过程。通过对PDM产品开发环境中工作流管理技术的研究,有利于缩短企业产品开发周期,降低成本,提高质量,从而赢得市场竞争的胜利。 本文在分析了PDM产品开发环境特点和工作流
近年来,无人机、单人飞行器等新型高紧凑性移动平台蓬勃发展,动力装置是这些平台的核心。化学电池难以满足这些机械系统对能源的要求。若使用内燃机作为微型能源系统的原动机
高中英语写作应由易到难、由简到繁、循序渐进地进行,教师应帮助学生逐步提高写作技能,逐级提升英语写作水平。本文针对新英语课程标准的解析论述了英语写作教学的方法。
为了培养学生的写作兴趣,提高写作能力。我们以"观察日记"为立足点。明确观察内容,激发观察兴趣;教给观察方法,培养观察能力;提供展示舞台,分享成功体验;老师示范引领,点燃写作热情。取