微型热电器件在小功率发电和制冷方面发挥着重要的作用,然而由于最常用的商用热电材料Bi2Te3机械性能较差,限制了三维微型热电器件的尺寸,而二维微型热电器件一直由于电阻过高而被诟病。本文提出了一种新的微型热电器件成型工艺,并搭建测试平台对制备出的器件进行测试;结合热电材料和填充物性能改善,对成型工艺进行优化。主要进行了以下几部分工作:1、探索能实现商业化应用的三维微型器件成型方法,提出了一种通过切割粘结制备三维微型器件的方法。并通过制备出热电臂尺寸1.2 mm ×1.2 mm ×1.6 mm的器件,验证了切割粘结法的可行性。2、利用切割粘结法成功制备出微型热电器件,热电臂尺寸可以达到300μm×300 μm×800 μm,解决碲化铋基三维微型热电器件机械加工和阵列排布方面的困难。3、改变热压粉体颗粒大小可以有效改善N型材料的热电性能,以商业区熔铸锭为原材料,经过不同程度的破碎研磨,当颗粒尺寸在150-300 μm时,室温zT可达0.8。4、对降低环氧树脂的热导率进行了探究。在环氧树脂中加入空心玻璃微珠可以有效降低环氧树脂的热导率,当加入重量比为12%的空心玻璃微珠时,环氧树脂热导率下降60%。经过一系列优化之后的切割粘结成型工艺,有望实现批量生产,推进微型器件的商业化应用。