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原子力显微镜(AFM)是通过检测探针扫描样品表面时的运动轨迹来获取样品表面形貌的工具。近年来随着AFM的广泛应用,赝像问题应引起注意。杂质、湿度、温度都可以对成像精度造成影响,其中湿度造成的影响程度尤为显著。本文着重研究空气湿度对AFM成像的影响。通过热力学推导和实验相结合的方法我们得到三个重要参数：微悬臂的耗散能、液桥破碎时的针—样间距以及针—样间最大黏附力。这三个参数可以衡量液桥对AFM成像的影响程度。本论文的主要研究内容有：液桥的热力学分析；利用C++语言进行编程计算；探针的有限元建模和分析；