电解加工是利用金属在电解液中可以发生阳极溶解反应原理,将工件加工成形的,工件材料减少的过程以离子的形式进行。由于金属离子的尺寸微小,因此这种微溶解去除材料的方式使得电解加工技术在微细制造领域有着很大的发展前景。研究和掌握微细电解加工的关键技术,研发微细电解加工系统,深入研究微细电解加工工艺,并结合制造业中大量存在的微细结构,充分的将微细电解加工用于实际工业应用,具有重要的现实意义。本文是在独立研制的微细电解加工装备的基础上,结合研究人员多年以来在电解加工技术领域的研究工作以及国内外微细电解加工技术的最新研究进展,本文重点在以下几个方面进行了试验研究：1.本文根据超声工作原理、法拉第定律、微细电解加工的电化学极化过程及外电场作用下的极化曲线及理论特征,通过基础工艺试验研究了电解液成分、电源性质、加工电压、浸入深度等因素对微细圆柱电极加工成型质量的影响规律。2.间隙分布是研究微细电解加工溶解定域性较为有效的方法之一,另一方面的研究内容是分析在超声辅助电解液扰动的情况下,电解加工间隙内电流分布,电解液电导率相比较于静态时的电解液对微细电解溶解定域性的影响。3.重点研究采用非线性电解液情况下,电解液成分、电极形状、电极直径、加工电压、电极进给速度等加工工艺因素对微细缝加工质量的影响；当采用超声波激励加工区电解液扰动时,主要研究电解液扰动对加工间隙分布的影响。