【摘 要】
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划片机是半导体产业中的重要加工设备。控制软件是自动化划片机设备的核心,包含了人机交互、自动对焦识别、自动切割、自动诊断、数据库管理以及划切工艺等关键技术。国内划片机的控制软件往往存在操作复杂、功能少、可读性差、可扩展性弱、修改困难等问题。因此,本文针对研制的双轴划片机开发了基于线程技术的划片机控制软件,主要内容如下:(1)设计了划片机控制系统的整体框架。通过模块化思想,把硬件、软件功能、人机界面及
【基金项目】
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湖南省重点研发项目:智能高精高效划片机研发,项目号:2017WK2031;
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划片机是半导体产业中的重要加工设备。控制软件是自动化划片机设备的核心,包含了人机交互、自动对焦识别、自动切割、自动诊断、数据库管理以及划切工艺等关键技术。国内划片机的控制软件往往存在操作复杂、功能少、可读性差、可扩展性弱、修改困难等问题。因此,本文针对研制的双轴划片机开发了基于线程技术的划片机控制软件,主要内容如下:(1)设计了划片机控制系统的整体框架。通过模块化思想,把硬件、软件功能、人机界面及数据分离出来,将控制软件化分为硬件控制模块、软件功能模块、人机交互模块与工艺数据管理模块。控制软件的模块化,利于机床硬件模块更换,提高软件的扩展性和兼容性,且有利于编程、提高测试的效率,减少工作量,方便对机台数据、机台工艺进行管理和系统功能的扩展。(2)基于线程的划片机软件系统功能模块设计。通过对线程技术的研究与分析,将软件系统中测高功能,自动识别切割等过程采用线程模式的思想进行设计与开发。通过线程操作来实现软件系统对用户的活动做出反应,提供丰富人机交互操作,提高用户体验,同时尽快的将数据呈现给用户。根据划片机的工艺要求,设计软件功能的程序,包括测高,自动对焦、自动识别切割等。(3)设计了控制软件的人机交互界面及工艺数据管理系统。交互界面的设计坚持以人为本、功能分类和操作一致性等设计原则。工艺数据管理系统涉及划切工艺管理,设备参数管理和刀片管理等,建立划片机数据库,通过对数据库访问来实现数据的操作与划切工艺管理。(4)对软件功能和性能进行了工程验证。试验表明,自动对焦时间短稳定性高,对焦后显示的图像清晰锐利。自动划切后,对划切工件进行数据采集,划切宽度、位置以及质量均能满足加工要求。
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