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随着互联网的发展,对传输速度与带宽提出了更高的要求,传统的机械光开关难以适应高速、大容量光传送网发展的需求,新型的以MEMS为基础的微机械光开关以其具有体积小、易于集成、对波长、折射率、温度等物理参数不敏感的特性,成为大容量交换光网络开关发展的主流方向。本文针对静电梳齿驱动结构的MEMS光开关,介绍了光开关的工作原理,选择微反射镜的位移作为系统的广义坐标,通过计算系统的动能、势能、磁能及电能构造了系统的拉格朗日函数,确定了耗散函数,最终建立了系统的机电动力学方程。在此基础上,通过仿真计算,