梳齿驱动相关论文
为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性,提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构．通过有限元与边界元方法,对不......
近年来，硅微机械陀螺因其广泛的军事应用背景和商业价值成为一个倍受关注的研究热点。为提高硅微机械陀螺的性能，各国提出了各种结构......
静电梳齿驱动器常用于实现平面内的横向驱动，但是实现非平面内的纵向驱动比较困难。国外很多学者采用正反对准、多次选择性刻蚀获得......
基于MEMS技术的非平面内静电梳齿驱动器在光通信和图像显示领域有重要应用，近年来成为国内外研究的热点。
论文首先根据静电梳......
提出一种采用梳齿驱动方式的新型微镜结构,通过外加电压使处于不同高度的可动梳齿与固定梳齿产生转动,带动镜面发生偏转.研究表明:......
介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸，可以使微继电器的阈值电......
为了解决微机械陀螺仪驱动和检测模态耦合的问题，提出了一种新型的双质量块双线振动结构方案。根据微陀螺的结构和工作原理，对其驱动......
为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性，提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构．通过有限元与边界元方法，对不同......
研究了基于塑性变形工艺的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺,主要包括采用非SOI硅片实现可动电极和固定电极的绝缘,通过KOH各向异性......
