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本文在分析压电阀发展现状的基础上,提出了一种基于压电堆驱动器的新型结构的气动阀,并对这种压电气动阀进行了理论分析和试验研究。 第一章综述了压电阀研究的目的和意义,分析了压电阀相对于传统电磁阀所具有的优势,介绍了压电阀的研究现状和所存在的问题,确定了本论文的研究任务。 第二章对压电陶瓷驱动器的原理和特性进行了理论分析,讨论了压电陶瓷驱动器的疲劳现象和迟滞特性,并通过实验测试了所选择的压电陶瓷驱动器的静态特性和动态特性。 第三章在分析压电驱动器对驱动电源的要求的基础上,采用电压放大式原理设计了一个压电陶瓷驱动电源,并通过实验获得了驱动电源的性能。试验结果表明该驱动电源线性度<1.0%,在无负载的情况下其响应频率可以达到10kHz。 第四章在理论上提出了一种基于压电堆驱动器的喷嘴挡板式气体控制阀。并对这种压电阀所涉及的动力学、流量估算等问题进行了理论上的探讨,并用有限元法的方法分析了压电阀的柔性铰链挡板的固有频率。 第五章实际设计了一个压电气动阀,并对实际设计的压电气动阀的性能进行了试验测试。试验结果表明,所设计的压电阀响应时间约为10ms左右,允许工作压力大于6bar,3个大气压的工作压力差的条件下时最大输出流量超过37L/min,初步达到了高压力、大流量、快响应的设计目的。 第六章概括了本论文的主要工作,并展望今后需进一步开展的工作。