纳米科技作为引领新一代技术革命的技术,近年来在信息、材料、生物、微电子等方面显示出重要的应用前景。有序纳米微结构材料是纳米技术的核心和基础材料之一,如何方便、可控地制备预定结构的纳米微结构材料,是当今纳米制造的热点问题。最新发展起来的嵌段共聚物自组装技术,能够自下而上的制备出纳米微结构,如何调控嵌段共聚物自组装过程对制备出高度有序的纳米微结构有重要的意义。本课题主要研究基底图案对嵌段共聚物自组装过程的调控作用。首先实现了AFM纳米加工系统的Z向闭环加工方式,运用研制的加法器电路实现开环加工方式与闭环加工方式的切换。对比了两种加工方式的特点,最终选择了对深度控制更加精确的闭环加工方式作为基底图案的加工方式。运用AFM纳米加工系统在铝合金及硅材料表面加工出了一系列二维、三维微结构。研究了进给量、垂直载荷对加工深度、表面粗糙度以及图案形状精度的影响规律,分析了采用灰度图方式能够加工得到高精度的三维微结构的原因。在加工好的基底上浇铸SEBS嵌段共聚物分子,研究了基底图案对自组装过程的调控作用。分析了不同的加工深度、表面粗糙度以及图案形状精度对自组装纳米微结构的影响。并同光刻技术加工的基底图案调控出的自组装纳米微结构做了对比,得到了应用AFM加工技术加工基底图案的优缺点。