【摘 要】
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论文对传感器保护环结构进行分析,提供一条利用电容实现精密测量的思路.经试验选定的调理电路将电容传感器间距的变化转换成与之成正比的频率信号.设计的波纺膜片传感器将调
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论文对传感器保护环结构进行分析,提供一条利用电容实现精密测量的思路.经试验选定的调理电路将电容传感器间距的变化转换成与之成正比的频率信号.设计的波纺膜片传感器将调理电路包容为一体,免除了变化的分布电容影响.严密封装的传感器的输出频率信号具有很高的抗干扰能力.在传感器的设计、制作以及工作过程中存在一些难以克服的问题,如零点漂移、随机脉冲和白噪声干扰等,利用微处理器对传感器输出信号进行处理,补偿传感器存在的这些问题,保证了整个测量系统的精确度.声表面波(Surface Acoustic Wave缩写SAW)传感器是近年来发展的一种新型传感技术,具有很高的灵敏度.基于微电子平面工艺的SAW器件,当大规模生产时在性能价格比上有明显的优势,使该类传感器具有广泛的应用前景.作为测力元件,SAW传感器本身的结构、加载后SAW振荡器的稳定,大大限制了SAW器件在测力中的应用.该文对此作一分析,以期探索实用的新型测力传感器.
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