【摘 要】
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高精度位移测量作为现代制造业与信息产业领域的关键技术,对国家经济发展与科技进步具有重要意义。本文以实现大量程、高精度、高稳定性位移测量为目标,将外差探测与光栅测量技术相结合,研制了一维和二维两套外差干涉光栅位移测量系统,并对二者进行了较为详尽的理论分析与实验研究,主要创新性工作归纳如下:1.改进了课题组之前提出的对称式高对比度一维外差干涉光栅位移测量系统。通过采用较短栅距的计量光栅与精心选取半波片
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高精度位移测量作为现代制造业与信息产业领域的关键技术,对国家经济发展与科技进步具有重要意义。本文以实现大量程、高精度、高稳定性位移测量为目标,将外差探测与光栅测量技术相结合,研制了一维和二维两套外差干涉光栅位移测量系统,并对二者进行了较为详尽的理论分析与实验研究,主要创新性工作归纳如下:1.改进了课题组之前提出的对称式高对比度一维外差干涉光栅位移测量系统。通过采用较短栅距的计量光栅与精心选取半波片放置位置,使得改进后的系统相比之前具有更短的光学信号周期,更高的测量信号信噪比,以及更强的外界干扰抑制能
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