脉冲激光沉积制备YBCO薄膜:激光诱生大颗粒的消除以及c轴择优外延生长研究

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【摘要】

：

目前,在超导器件应用方面,YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜是研究最多、也是最接近实用化的一种高温超导材料。有鉴于此,高质量的YBCO薄膜的制备技术和性能研究非常重要:一方面,可以用于基础物理和性能的研究,如超导机理和磁通钉扎等性能的探索;另一方面,可以制成各种功能独特的超导元器件,如约瑟夫逊结和隧道结以及微波器件等。然而,制备高质量的YBCO薄膜仍然面临一些技术挑战,特别是对于脉冲激光沉积技

【作者】

：

范俊

【机构】

：

苏州大学

【发表日期】

：

2011年04期

【关键词】

：

YBCO薄膜脉冲激光沉积激光诱生大颗粒网格掩模 c轴择优取向

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