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全介质窄带滤光片因具有优良的光学性能,较强的工艺性和空间环境适应性被广泛应用在激光系统中。本文针对905nm红外半导体激光系统中激光发散角大的问题,设计了宽角度入射905nm窄带滤光片。通过比较膜系材料,选择TiO2和SiO2作为高、低折射率材料,采用三腔结构,并利用 Macleod膜系设计软件进行优化,得到非规整型全介质窄带滤光片膜系,在吸收型红外滤光片上镀制宽角度入射窄带滤光片。制作出±30°入射905nm窄带滤光片和±45°入射905nm窄带滤光片。±30°入射的滤光片在880~950nm范围内峰值透射率T>88%,在380~850nm和987~1200nm范围内平均透射率T<2%。±45°入射的滤光片在860~1014nm范围内平均透射率T>87%,在380~830nm和1050~1200nm范围内平均透射率T<2%。