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近年来,LaNiO3作为一种新兴的赝立方钙钛矿型氧化物被广泛研究。其主要应用于铁电及铁磁薄膜的过渡层、双功能催化剂材料等诸多领域。然而,近年来的理论计算预计,钙钛矿异质结构薄膜(例如LaNiO3/LaAlO3超晶格薄膜)很可能会具有一些特殊性能(如：超导性能等)。本文将从LaNiO3粉体制备,LaNiO3靶材制备,LaNiO3单层膜以及LaNiO3/LaAlO3多层膜制备等多个方面对该体系进行研究。首先,本文采用不同溶剂的溶胶凝胶法成功制备了LaNiO3及LaAlO3,并首次采用乙醇作为溶剂的溶胶凝胶法成功合成了LaNiO3.同时从不同溶剂、不同pH值以及乙二醇的加入三个方面对LaNiO3纳米粉末进行研究。实验发现,以去离子水作为溶剂,预烧粉末的晶粒大小比较均匀,晶粒尺寸比较小。而以酒精作为溶剂时预烧的粉末中存在较大晶粒,晶粒大小不均匀,且晶粒生长存在一定取向。选择去离子水作为溶剂时,pH值的选取范围在0.9至1.9之间。pH值越高溶胶烘干过程中发泡现象越不明显,同时预烧过程中自蔓延现象越明显。当pH=1.3和pH=1.5时LaNiO3的结晶温度最低,当pH=1.7和pH=1.9时LaNiO3的结晶温度较低(pH=1.7时结晶温度在500℃至600℃之间),当pH=1.1时LaNiO3的结晶温度较高,当pH=0.9时LaNiO3的结晶温度最高。无论是以去离子水还是以酒精作为溶剂时,分散剂乙二醇的加入都在一定程度上起到了抑制发泡的作用。其次,本文使用溶胶凝胶法制备的纳米粉末进行靶材的压制和烧结,并从pH值、预烧温度、终烧温度等方面对其进行研究。通过实验发现,溶胶前驱体的pH值对LaNiO3靶材室温电阻率有一定的影响,在pH=1.3和pH=1.5时LaNiO3靶材室温电阻率最小。LaNiO3在950℃左右会开始发生相转变,由钙钛矿型氧化物LaNiO3转变为LaNiO3的另一个相(本文称该相为LaNiO3高温相)。在1100℃时该转变基本完成。同时还发现,在真空环境下,LaNiO3在950℃烧结过程中会发生分解反应放出氧气同时生成La2NiO4和NiO。最后,本文使用脉冲激光沉积(PLD)法进行薄膜制备。通过实验发现,制备LaNiO3单层膜时的最佳镀膜条件为生长温度为750℃,生长氧压为20Pa。在此条件下制备的LaNiO3单层膜为c取向外延膜。制备LaAlO3单层膜时的最佳生长氧压为50Pa,而只有生长温度达到900℃以上时LaAlO3薄膜的结晶质量才基本符合要求。本文还成功制备出了LaNiO3/LaAlO3超晶格薄膜,薄膜在16周期时出现明显的卫星峰,通过计算可以得出结论：超晶格薄膜中LaNiO3层的沉积速度为0.72A/脉冲,LaAlO3层的沉积速度为1.58A/脉冲。