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该文研究了用溶胶凝胶法制备气敏学薄膜,成功制备了五氧化二钒及其与二氧化锡、氧化锌、三氧化二铁、二氧化锰等掺杂混合的气敏学薄膜,几何膜厚为几十至一百多纳米,折射率在1.4至1.9范围内,薄膜大面积均匀.
金属氧化物及其混合物薄膜的气敏光反射特性研究
【摘 要】
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该文研究了用溶胶凝胶法制备气敏学薄膜,成功制备了五氧化二钒及其与二氧化锡、氧化锌、三氧化二铁、二氧化锰等掺杂混合的气敏学薄膜,几何膜厚为几十至一百多纳米,折射率在1
【机 构】
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中山大学
【出 处】
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中山大学
【发表日期】
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1998年期
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