随着技术水平不断提升,交流伺服系统在现代工业应用中的应用日益广泛。由于伺服系统普遍存在柔性负载,使系统产生机械振动现象。本文针对伺服系统中的机械振动现象及其抑制方法进行了研究。首先,本文介绍了柔性伺服系统的国内外研究现状,并对国内外柔性伺服系统振动抑制的分析设计方法的思想和步骤进行了阐述,建立二质量柔性系统的数学模型,针对低负载惯量比情况下干扰力矩较小的情况,采用基于开环控制原理的输入整形器进行残留振动抑制,设计输入整形器的柔性连接负载速度、位置控制结构。引入最优输入整形器,以系统的振动方程建立二次型目标函数,基于优化理论分析出使目标函数最小的输入整形器。针对数字控制系统的特点采用了时间最优输入整形器,并提出了其参数选择方法,解决了低惯量比振动抑制问题。仿真结果表明,采用输入整形技术既可以抑制残留振动,同时可以保证运动时间最优,说明了输入整形器抑制系统的残留振荡的内在本质。然后,针对受到干扰的柔性伺服系统的电机与负载之间的柔性连接环节产生的机械振动,采用了具有选择性指令滤波的自适应反推法,以抑制系统振动,提高跟踪精度。Lyapunov函数证明了系统的稳定性,在保证系统稳定性的同时实现了精确的位置跟踪控制。对系统的位置跟踪控制进行仿真,仿真结果证明了该方法的可行性,与传统自适应反推控制相比,该方法具有更加优越的性能。最后,对本文的工作内容进行概括和总结,指出了本文存在的不足,提出下一阶段的研究工作。