内圆切片技术是硅晶圆加工领域的主流技术之一,国内内圆切片主要通过单台机器配合工人人工上下料进行生产,自动化水平较低,越来越不能满足当今行业快速增长的对硅晶圆片的需求。基于当前内圆切片生产的现状,本文以提高内圆切片生产的自动化水平为主要目的,进行了如下研究工作:(1)针对当前内圆切片生产自动化水平较低的问题,经过研究论证后设计了一种全新的内圆切片生产形式:将原有的内圆切片机进行自动化改造,将改造后的内圆切片单元并联成机组,配合为其设计的自动上下料机械手系统形成一种全自动切片生产的全新生产形式。(2)明确了整个机械手系统所要完成的工作,根据机械手系统的功能要求确定机械手的坐标形式,并对机械手各轴的传动方案进行了设计,根据确定的各轴传动方案进行了其机械结构设计,最终将设计完成的各轴结构进行整合,从而完成了整个机械手系统结构。(3)以PLC为控制核心进行了机械手系统的控制程序的设计,并在VS2017环境下利用MFC进行了上位机界面程序的编写,通过后续的调试与改进,最终实现了机械手系统的自动控制。本课题设计的全新内圆切片生产形式以及设计完成的自动上下料机械手系统能够大大提高内圆切片生产的自动化水平,研究成果具有很好的实际应用前景。