【摘 要】
:
聚酰亚胺类材料由于其优异的化学稳定性、耐低温性、很好的机械性能、优良介电性能在微电子行业得到广泛地应用,但随着集成电路不断微缩化,互联导线间的信号延迟等问题对聚酰亚胺材料提出了更高的要求,因此制备多孔性低介电常数的聚酰亚胺薄膜成为了研究热点。本文采用了两种不同的方法制备了具有较低介电常数的聚酰亚胺薄膜,同时制备了聚酰亚胺多孔块体,并对其性能进行了研究。本文合成了低分子量端氨基聚硅氧烷和以双硫醚类链
论文部分内容阅读
聚酰亚胺类材料由于其优异的化学稳定性、耐低温性、很好的机械性能、优良介电性能在微电子行业得到广泛地应用,但随着集成电路不断微缩化,互联导线间的信号延迟等问题对聚酰亚胺材料提出了更高的要求,因此制备多孔性低介电常数的聚酰亚胺薄膜成为了研究热点。本文采用了两种不同的方法制备了具有较低介电常数的聚酰亚胺薄膜,同时制备了聚酰亚胺多孔块体,并对其性能进行了研究。本文合成了低分子量端氨基聚硅氧烷和以双硫醚类链转移剂合成的端氨基聚苯乙烯,通过端基反应合成了聚酰亚胺-b-聚硅氧烷嵌段共聚物和聚酰胺酸-b-聚苯乙烯嵌段共聚物,然后通过热降解处理和酸腐蚀处理去掉聚苯乙烯和聚硅氧烷成分,得到两种多孔聚酰亚胺薄膜,对多孔薄膜的介电性能、热性能、吸附性、表面性能进行了表征,发现随着孔隙率的增加,薄膜介电性能呈线性降低趋势,同时,复合膜的热稳定性随着添加聚苯乙烯和聚硅氧烷的量而降低,薄膜对水和甲苯具有较好的吸附性,随着孔隙率的增加,吸附量依次增加,而且嵌段共聚物薄膜随着聚苯乙烯和聚硅氧烷的加入接触角逐渐增大,当聚苯乙烯和聚硅氧烷被腐蚀掉之后则接触角降低,薄膜表面产生凹坑结构且薄膜表面粗糙度增加。采用甲苯二异氰酸酯和二苯基甲烷二异氰酸酯作为混合异氰酸酯与均苯四甲酸酐聚合成可溶性聚酰亚胺,然后采用多异氰酸酯交联剂制备聚酰亚胺多孔块体,通过调节酸酐部分与异氰酸酯的比例,制备出三种不同交联密度的组分。然后进行浸置水或者高压反应釜处理得到多孔性聚酰亚胺块材,研究发现通过反应釜处理得到的块材孔径尺寸均一,分布均匀,通过浸渍水处理得到的多孔块体周期较长,同时,当凝胶块的交联密度增大时,对水和甲苯呈现出较好的吸附性能。综上所述多孔聚酰亚胺薄膜具有较低的介电常数,较好的吸附性能,具有一定的热稳定性,而且采用低分子量聚硅氧烷和双硫醚类链转移剂制备的端氨基聚苯乙烯有效改善了合成嵌段共聚物时的溶解性问题;合成多孔聚酰亚胺块体时采用了可溶性聚酰亚胺,避免了高温热酰亚胺化造成的热降解,而且块体对甲苯和水具有较好的吸附性能。
其他文献
本文介绍了验证弧齿锥齿轮强化喷丸技术的过程,通过对某型号装载机产品驱动桥的弧齿锥齿轮副的失效原因分析,确定轮齿的弯曲疲劳强度不足,采用强化喷丸工艺,经过台架及整机可靠性
背景:呼吸系统症状在失代偿期肝病患者中是非常常见的,半数以上的患者有气短的主诉。在过去的10多年里,肝硬化患者肺血管异常越来越受到重视,因为人们意识到这是影响肝移植患
热液金属矿床成因研究过程中,观测与实验始终是密切结合的。上世纪70年代,平衡热力学的实验数据的快速积累,使人们用热力学理论计算可以预测和反演矿石和岩石的成因。但是,没有矿
随着风力发电市场的竞争日趋激烈,为了提高风电的经济效应,风力发电机的规模逐渐扩大,且风电塔的高度不断增加,此时高风电塔受到的风荷载更强也更稳定,相应的风电系统效率随
现如今在我国大力提倡发展经济产业的背景下,我国房地产经济也在一定程度上得到相对来说比较快速的发展,当前对于房地产行业而言,应属于我国发展过程中不可缺少的经济支柱产
第一次吃甜豆花,是在台中某个不起眼的小店里面,豆花端上桌来,奶白色,滑滑嫩嫩的,倒像是牛奶做成的凉糕,入口甜甜的,让我这个万年“咸党”不知道说什么好。这也才发现,重庆的豆花,好像
<正> 一、所有权制度与所有权的民法保护人们论及所有权制度时,总认为它是由权利的确认和权利的保护两方面构成的。而由于产权的界定或归属的确定乃是所有权制度的基本功能,
作为三全育人的途径之一,课程思政需要理论指导。布鲁姆教育目标分类理论修订版对认知过程六个层级的划分为思政教学目标的制定提供了理论和实践依据。本文从厘清课程思政教
Web 2.0技术的迅速发展使用户生成内容成为可能,从而促进了在线用户之间的信息交互与共享,而这正是实现群体智慧的关键,因此,网络环境下的用户生成内容更容易产生群体智慧。
针对现实中同一实体存在不同表象的问题,提出一种基于D-S证据理论特征融合的同义实体识别方法。以搜索引擎为外部知识库获取实体特征信息,利用相似函数计算特征值,由D-S证据