Fe(Ni)Co-SiO<,2>纳米颗粒膜的高频软磁特性

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  本文利用射频磁控溅射方法制备了FeNi(Co)-SiO2系列纳米软磁颗粒膜。利用X-ray衍射和TEM得到了样品的基本结构信息;用VSM、SQUID和直流四端法等系统地研究了样品的电性和磁性;利用PFM-001型磁导计测量了样品的高频特性,结果表明,样品的晶粒尺寸基本等于颗粒尺寸;溅射Ar气压是影响材料软磁性能的关键因素之一;在介质区,颗粒间距较大,电子被完全局域在颗粒周围,不存在自由电子的散射以及电子-电子相互作用,唯一的导电机制是电子的隧穿;即使不对衬底加外磁场,由于粒子的斜入射,样品仍有很好的单轴各向异性;SiO2靶功率的变化不仅影响各向异性场的大小,而且影响易轴的方向。 本文研究了在Fe65Co35-SiO2系统中,在共溅射时,衬底不加磁场和加磁场对样品各向异性的影响。研究发现,在共溅射过程中,不加磁场和加磁场对样品各向异性的影响不大;研究了在Fe65Co35-SiO2系统中,在用复合靶溅射时,改变衬底磁场大小而引起的样品各向异性的变化。研究发现,当衬底所加外磁场大于一定值(约200Oe)时,易轴的方向才与所加磁场的方向一致。   
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