RCWA相关论文
在亚波长区（λ/n〈Λ〈λ）具有较低反射率和零级透射率,然而在小周期区（Λ〈λ/n）具有低反射率和透射率。因此,基于严格耦合波分析（RCWA......
耦合波分析法（RCWA）方法是目前研究光栅衍射最普遍的方法.垂直入射到光栅表面的光使衍射光的正负N级衍射波处于对称状态,使得在RCWA......
设计了一种蛋白质光学生物传感器,运用严格耦合波(RCWA)方法对该传感器进行理论分析,通过计算机仿真模拟,分析了传感器敏感介质膜......
采用严格耦合波理论与矩阵LU分解法，求解了亚波长矩形介质光栅的衍射场，给出了TE和TM偏振波的耦合波方程组及其矩阵形式．通过数值计算......
微结构光栅在材料光谱发射率控制方面具有独特的优势和广阔的应用前景。利用严格耦合波分析（RCWA）,结合铁的电磁参数,考察了铁微结构......
采用微加工工艺在Si衬底上制备了微柱和微锥阵列,结合光学建模分析,研究了结构参数对中长波(2.5~9μm)红外光反射率的影响规律。使......
当前微流控表面增强拉曼散射(SERS)检测领域常用的贵金属纳米颗粒溶胶单位体积内热点区域数量有限且热点区域范围较小,而贵金属纳......
在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中,严格耦合波分析法（Rigorous Coupled Wave Analysis,RCWA）方法计算耗时,占用内存比较大.......
利用严格耦合波理论(RCWA)分析了方向误差和面形误差对亚波长光栅衍射效率的影响．通过分析发现，方向误差和图案边缘钝化对光栅的衍射......
用严格耦合波理论(RCWA)计算了当折射率取一系列离散值时的二维亚波长周期结构介质光栅出现一级衍射透射波的周期值,进而利用最小......
集成电路的集成度越来越高,对微电子测量技术提出了巨大的挑战。光学关键尺寸(OCD)测量技术是微电子结构测量领域的主要技术之一。......
聚甲基丙烯酸甲酯（Poly（methyl methacrylate），PMMA）具有优良的光学性能、容易加工、成本较低等特点，是最常用的光学塑料之一。理想的单......
在光栅、光子晶体等微周期结构的设计和分析中，光栅区域中衍射场的模拟具有非常重要的意义，它是实现各种微周期结构分析和测试的基础......
光学关键尺寸测量（OCD）在10多年前开始就广泛应用在半导体生产设备中，用于在生产过程中对蚀刻的过程进行检测和控制，还有对光刻胶的修......
热辐射及热辐射光谱特性控制在航天热控技术、热电转换技术、太阳能利用、选择性热辐射器以及激光技术等诸多领域有重要的应用背景......
