激光干涉测量由于精度高、范围大,广泛应用于精密测量领域。半导体激光器由于其体积小、价格便宜,在仪器设备的激光干涉计量系统中受到青睐。然而,半导体激光器输出波长易于受到外部因素如环境温度、驱动电流的影响,导致干涉测量精度降低。因此,波长的实时监测和校准对精密测量是十分重要的。本文开发了一种半导体激光器波长校准系统,实时监测激光器波长的漂移,以利于波长漂移引起误差的校准。主要研究内容包括:1、提出了一种基于迈克尔逊干涉的激光波长校准原理。该原理采用光程差固定的迈克尔逊干涉仪模块,通过激光输入发生干涉,由干涉信号分析提取干涉相位变化,进而获取激光波长漂移,实现波长校准。2、完成了半导体激光器波长校准系统的硬件架构设计,包括光路结构、光电信号处理电路。电路基于ARM主控芯片实现信号采集、波长漂移计量和数据通讯。3、将校准系统集成于激光干涉位移测量仪,实时监测并校准半导体激光器激光波长,进而对激光干涉位移测量仪的测量结果进行误差校准。进行了对激光器波长校准系统的测试实验,通过对实验结果和各种误差影响因素的分析,验证了校准系统的有效性和准确性。