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作为MEMS传感器中重要的一种传感器,触觉传感器能够探测到周围环境中极其细小的变化,并且能够反映物体接触力的大小。现今,随着MEMS技术的飞速发展,基于MEMS技术的柔性传感器展现出微型化、低成本、集成化等优点。而柔性MEMS触觉传感器由于其具有良好的柔性、较高的灵敏度,在可穿戴器件、机器人和智能假肢等方面具有广阔的应用前景。本论文主要开展了基于导电聚合物的柔性MEMS压阻式触觉传感器阵列的研究,旨在研制出灵敏度高、响应速度快、低串扰效应的触觉传感器阵列,主要工作如下:(1)触觉传感器阵列的传感机制和压阻材料的选取。首先,本文选用多壁碳纳米管(MWCNTs)与柔性聚合物聚二甲基硅氧烷(PDMS)复合的导电聚合物PDMS/MWCNTs作为压阻材料,确定最适宜浓度配比的PDMS/MWCNTs以获得最佳的力学和电学性质。(2)研制了一种三明治结构柔性MEMS压阻式触觉传感器阵列。它由上电极层、压阻层和下电极层组成。在对多种结构的几何形状进行仿真分析后在压阻层内引入微金字塔结构。使用力学测试平台测得传感器在小于900Pa的范围内显示出-1.123 k Pa-1的灵敏度,传感器的测试重复性好,响应速度快,探测极限低,能够探测弯曲力,并且能够初步探测颈部动脉信号。(3)研制了一种改进型的单层结构的触觉传感器阵列。传感器主要由三层结构的压阻层和下电极层组成。压阻层由三层带有微结构的薄膜构成,其中两个PDMS/MWCNTs薄膜带有微结构的一侧面对面相贴,PDMS薄膜键合在顶层。测试结果表明,传感器在小于800Pa的范围内显示出-1.10 k Pa-1的灵敏度,传感器的响应速度能够达到29ms,最小能探测到14.5mg的外力,能够获得较为清晰的颈部动脉波形。并且单层电极层和隔离敏感单元的设计有效的抑制了串扰效应的影响,使得传感器的敏感单元之间具有良好的电学隔离。