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铁电性是指某些物质存在自发电极化现象,并且自发极化矢量取向能随着外电场而改变。铁电材料的主要特征是具有铁电性,即电极化强度与外电场之间具有电滞回线的关系。具有铁电性且厚度尺寸为数十纳米到数微米的膜材料叫铁电薄膜。铁电薄膜是一类重要的功能性薄膜材料,已成为国际上材料科学与凝聚态物理研究热点中的热点。相对于体材料而言,铁电薄膜具有许多优点:①可望与广泛使用的微电子或光电子元件集成,从而构成单片集成器件。②薄膜与衬底之间大的折射率差,使薄膜与衬底本身就构成一个光波导,并可望使器件实现高能光束限定从而使器件