磁悬浮轴承是一种国际上公认的高新技术,常被用于科技发展的各个领域中,而磁悬浮系统的稳定运转与其系统内的位移传感器的性能息息相关,而且传感器技术也越来越受重视。众多种类的传感器中,电感式传感器以其独特的优势而被广泛使用,因此对其各方面的优化改进有着很高的研究价值。本文对磁轴承用电感式位移传感器进行了研究,在常用电感式位移传感器的原理基础上,加以优化设计、并设计了一体化的电感式位移传感器。分析差动式电感位移传感器的工作原理,建立数学模型并分析其工作特性。提出了常用差动式电感位移传感器的铁心结构与安装方面存在的问题,将分装式铁心优化得到一体化铁心,既使安装简易化又避免了因安装不对称而引入的测量误差,提升传感器测量性能。按照磁悬浮轴承的使用要求详细设计传感器本体结构的尺寸、线圈匝数以及传感器激励等相关参数。使用Maxwell软件建立传感器本体模型,对分装式与一体化铁心进行磁路的仿真与对比分析,验证结构改进的可行性。针对传统二极管整流的弊端,设计了开关式相敏检波、精密整流两套测量电路方案,在Multisim软件里搭建电路模型并分别对两种电路进行仿真分析,验证电路的合理性。根据设计方案加工制作一体化铁心、偏心轴,并绕制线圈,选用精密整流方案并设计了电路。搭建一体化传感器的静态实验平台,测量并记录一体化传感器的输入输出信号,利用Matlab软件拟合求得一体化传感器的线性度、灵敏度、重复性与迟滞特性等主要指标,并研究不同频率激励对传感器特性的影响。静态实验结果表明,本文设计的一体化电感式位移传感器可以满足一般的磁轴承系统测量精度的要求,也可为磁轴承用位移传感器技术的发展奠定一定的理论与实验基础。