【摘 要】
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本课题组前期研制了一种基于PCB工艺的新型低气压放电微型ICP激发源,并将该微型ICP激发源与爱万提斯微型光纤光谱仪配合,研究探索该微型ICP激发源的激发能力及可激发检测的样品。前期已成功激发了甲烷、乙炔、氨气、氮气等样品。本研究的目的在于探索该微型激发源对更多的新的气体样品检测能力。本文所做的主要工作如下:首次采用微型ICP激发源样机对CO_2、SO_2和NO_2气体样品做了激发性能测试探索。试
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本课题组前期研制了一种基于PCB工艺的新型低气压放电微型ICP激发源,并将该微型ICP激发源与爱万提斯微型光纤光谱仪配合,研究探索该微型ICP激发源的激发能力及可激发检测的样品。前期已成功激发了甲烷、乙炔、氨气、氮气等样品。本研究的目的在于探索该微型激发源对更多的新的气体样品检测能力。本文所做的主要工作如下:首次采用微型ICP激发源样机对CO_2、SO_2和NO_2气体样品做了激发性能测试探索。试验在氩气做载气的情况下成功的将此3种气体激发成等离子体,利用微型光纤光谱仪测试得到其谱线图。经Sepcl
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