随着集成电路的快速发展,对测量其上的半导体器件各种参数要求越来越高,其中电压和电阻是主要的测量对象。目前探针测试仪采用多探针法测量电参数的方法应用比较广泛,而传统的探针测试仪测量效率较低、精度低和测量的参数较少。因此需要开发一套基于探针测试仪的高性能测量仪器。本论文论述了国内国外的半导体测量仪的发展状况,在改造后的ST-103A探针测试仪的基础上并结合单片机技术和人机界面技术组成了一套测量电参数的测量系统。该仪器的主要功能是对贴片元器件进行电参数(电压、电阻)测量和功能测试,操作简便,工作效率高和成本低等特点。在自动控制方面,引入了步进电机来控制探针平台在X、Y和Z轴上的移动,实现了探针平台的移动自动化,X、Y轴的步进分辨率可以达到0.0095mm,移动的速度可达1.9mm/s;在视频监控方面,引入视频监控系统后,操作者可以在PC机上清楚地观察载物台移动和测量情况；在测量电路方面,设计了电压测量电路和电阻测量电路,可以对贴片元器件的电参数(电压、电阻)实现精确测量,测量的精度可达12位,其中电压测量电路的测量电压范围为-10V-10V；编写串口通信模块使PC机能够与单片机实现实时通信；设计人机控制界面方便操作者在PC机上控制探针测试仪的测量活动。本论文的特点是：基于改造后的探针测试仪测试贴片元器件的电参数,并在下位机系统中加入了视频监控和步进电机控制技术,在上位机中使用了MFC设计人机界面,操作者通过人机界面控制探针测试仪可以有效的提高测试效率和可靠性,为贴片元器件的电参数测试提够了一套有效的测试方案。