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电容式微加速度计具有检测灵敏、结构简单、易于集成等显著优点,在各种传感器中电容式微加速度计发展最快而且商业应用最广。工作温度的变化导致微加速度计的零位温漂严重影响加速度计的检测精度,制约其应用于高端精密领域。在施胶过程中,粘接胶的不均匀性及空洞等将不可避免的发生,工作温度的变化导致微加速度计结构产生非对称性的热应力及热变形,从而产生零位输出和零位温漂。随着对检测精度要求越来越高,粘接胶的不均匀性对微加速度计零位温漂的影响不能忽略。国内外对粘接胶不均匀性对微加速度计零位温漂的研究非常少,因此研究粘接胶