物联网的发展使得微电子设备趋向于低功耗化,故利用新型环境能量收集技术进行自供电逐渐成为了可能。其中振动能量是应用最为广泛的能量之一。目前压电式振动能量收集器大都是线性的,带宽较窄,应用范围受到较大限制。故本文主要开展宽频振动能量收集器的研究,以拓展压电式振动能量收集器的适用范围。本文结合非线性振动理论制备出宽频能量收集器。该能量收集器是以钛为基底,采用了改进的浸渍提拉法在基底表面制备出一层PZT薄膜,并对其进行极化。为了实现拓宽带宽的目的,悬臂梁的长度、宽度和厚度分别设计为20mm,12mm和50μm,且在悬臂梁末端附着一个重为0.6422g的质量块。当激振加速度为2m/s~2时,在提升频率和降低频率的过程中,能量收集器分别在16Hz和14.3Hz发生了能量收集效率突然上升的现象,并在一定频率宽度内仍保持较高的效率,该频率宽度为1.7Hz。另外,当负载为68kΩ时,其最大输出功率为0.406μW。本文还定性分析了激振加速度、悬臂梁长度和质量块质量对能量收集器的影响。实验发现,激振加速度作为外在因素,它只与能量收集器的输出电压幅值成正比。而悬臂梁长度和质量块质量作为内在因素,长度的增加和质量的增加都能使器件的工作频率降低。另外,长度的增加和质量的减小还能使器件的带宽增大,但是也会使器件的输出功率降低。最后,本文对研究的课题做出了总结和展望,提出了可完善之处,希望可以得到性能更全面的振动能量收集器。