声表面波加速度计的闭环方案研究

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介于目前声表面波加速度计样机中存在的实际问题,本文深入研究了声表面波技术的基础理论和谐振式SAW加速度计的基本组成及工作原理,并对加速度计灵敏系数进行了详细推导与计算。在此基础上,结合力矩发生器结构特点以及闭环反馈力类型,详细分析了磁电式模拟力反馈闭环方案,磁电式脉冲力反馈闭环方案。在静电力平衡方案中,直接利用SAW加速度计惯性质量作为差动式电容的一个极板,组成静电力发生器,并利用脉宽调制反馈力方案解决了静电力发生器非线性的难题。深入分析了静电式脉宽调制闭环方案的系统特性,结合自控原理理论和仿真分析
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