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持续加固中央八项规定堤坝
【出 处】
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中国纪检监察报
【发表日期】
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2020年01期
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在太阳电池制备过程中，采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺对硅片背面镀膜是其重要工序之一，但石墨舟卡点处的硅片在镀膜后常出现瑕疵，且制备的太阳电池进行电致发光（EL）测试时石墨舟卡点处存在EL发黑的情况，严重影响太阳电池的品质。基于此，以利用二合一管式PECVD设备进行硅片背面镀膜时出现的石墨舟卡点处硅片瑕疵及单晶硅太阳电池EL发黑的异常现象为研究对象，分析了此种PECVD设备镀膜时，射频
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