【摘 要】
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采用等离子体增强型原子层沉积（PEALD）系统原位掺杂制备了TiO2-xNx光催化剂。利用光电子能谱（XPS）、高分辨率透射电镜（HRTEM）、光致发光（PL）光谱和紫外–可见光（UV-Vis）光谱对催化剂进
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采用等离子体增强型原子层沉积（PEALD）系统原位掺杂制备了TiO2-xNx光催化剂。利用光电子能谱（XPS）、高分辨率透射电镜（HRTEM）、光致发光（PL）光谱和紫外–可见光（UV-Vis）光谱对催化剂进行了表征,并研究了TiO2-xNx纳米薄膜在可见光照射下水接触角的变化和催化降解亚甲基橙（MO）溶液的性能。结果表明,等离子体功率变化可以改变掺入氮原子的结构,在功率为50 W时主要形成替换式氮原子,含量约为1.22at%,晶体为锐钛矿（101）型。结构无明显缺陷,且掺杂后TiO2-xNx薄膜光生电子
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