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基于4英寸(1英寸=2.54 cm)亚微米T型栅GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺,采用AlGaN/GaN异质结构外延衬底,研制了一款W波段功率放大器单片微波集成电路(MMIC)。该功率放大器MMIC通过威尔金森功分器/合成器实现4个饱和输出功率大于1.5 W的单元子电路片上功率合成,每个单元子电路采用四级级联拓扑结构,利用毫米波高低阻抗线、低寄生介质电容和λ/4传输线等元件实现低损耗拓扑结构。测试结果表明,在91~96 GHz,该功率放大器MMIC线性增益大于17 dB,输入、输出回波损耗均小于-8 dB,饱和输出功率大于5 W,功率附加效率大于15%。