【摘 要】
：
我们研究了目前国际上普遍采用的SiH_2Cl_2NH_3体系低压化学气相淀积氮化硅薄膜工艺.通过实验,获得了低压化学气相淀积氮化硅薄膜的较佳工艺条件,并对氮化硅的质量进行了检测
【机 构】
：
骊山微电子公司,骊山微电子公司,骊山微电子公司
论文部分内容阅读
我们研究了目前国际上普遍采用的SiH_2Cl_2NH_3体系低压化学气相淀积氮化硅薄膜工艺.通过实验,获得了低压化学气相淀积氮化硅薄膜的较佳工艺条件,并对氮化硅的质量进行了检测,膜的质量好.该工艺适用于大规模集成电路生产。
We studied the low-pressure chemical vapor deposition of silicon nitride thin film commonly used in the world at present.Through experiments, obtained the better conditions of low-pressure chemical vapor deposition of silicon nitride film, and the quality of silicon nitride The test, the film of good quality. The process is suitable for large-scale integrated circuit production.
其他文献
八十年代以来,第一代红外热成象和多光谱遥感仪进入了成熟时期。这一时期的标志是:光机扫描机构充分发挥了作用;多数元部件实现了标准化。第一代红外军、民用热象仪和多光谱
本文提出了一种新型的异质结双极型晶体管.该管的收集区和基区由磷化铟材料做成.和硅平面晶体管类似,管子的基区采用一般的氧化层(Al_2O_3)掩蔽扩散工艺(在这里是锌扩散).而
容灾技术的意义数据系统的安全体系主要有数据备份系统、高可用系统两个方面,备份系统提供应用系统的数据后援,确保在任意情况下(包括人工操作失误)数据具有完整的恢复能力
在红日跃出大洋深处的一瞬间,照亮了海上钻井平台,照亮了渤海湾、黄河口、长江口和珠江口的油田、码头、炼厂,照亮了东北平原、华北平原、江汉平原上成群的采油机,照
At a m
动态范围压缩电路的功能是,在不产生或只产生有限的谐波失真的条件下,从幅度变化范围较大的输入信号产生幅度变化范围较小的输出信号。本文介绍一种可以方便地改变压缩比的
自治区林业科技及宣传工作座谈会于一九八一年四月二十一日至二十八日在乌鲁木齐市召开。参加会议的有来自全疆林业科研、生产、教学以及兄弟单位的代表,自治区科委主管部门
随着电子技术的不断发展,电子元件的功能高度一体化,出现了大量名为“载体芯片”的新型有源元件:因为这样制成的半导体元件要求的连接线越来越多,人们重新考虑经典的双列直
研究了高掺硅的n型GaAs在中子辐照前后和150℃—500℃等时热退火以后的光致发光光谱。观察到在中子辐照后积分发光强度降低为辐照前的1/36。在退火温度超过250℃时,积分发光
让“合作”走进语文作业是语文学科特点、社会发展、儿童心理和培养儿童健康心理的需求。教师在设计“合作型”作业时要注意时代性、创造性、生活性、趣味性、可探究性,使其
曲克芦丁脑蛋白水解物为复方制剂,为曲克芦丁与猪脑提取物制成的灭菌浓液。用于治疗脑血栓、脑出血、脑痉挛等急慢性脑血管疾病。近年来国内有文献报道,本品致过敏反应,现概