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日本INSPEC公司面向半导体封装底板用掩模的检查用途，近日上市了可检查极微细图案的玻璃掩模检查设备“SX6000G”。
高检测精度的玻璃掩模检查设备
【摘 要】
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日本INSPEC公司面向半导体封装底板用掩模的检查用途，近日上市了可检查极微细图案的玻璃掩模检查设备“SX6000G”。
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2009年8期
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