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介绍了一种可有效提高靶材利用率（可达80%以上）,减少非溅射区沉积问题的磁控溅射旋转阴极的支撑端头的结构设计,使得真空镀膜的非溅射区面积减小60%以上,克服矩形平面阴极高成本、低质量的技术缺点。
旋转阴极支撑端头装置设计
【摘 要】
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介绍了一种可有效提高靶材利用率（可达80%以上）,减少非溅射区沉积问题的磁控溅射旋转阴极的支撑端头的结构设计,使得真空镀膜的非溅射区面积减小60%以上,克服矩形平面阴极高成
【机 构】
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安徽省蚌埠市华益导电膜玻璃有限责任公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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2016年1期
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