【摘 要】
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软模板的制作是紫外纳米压印中关键的技术，模版的分辨率直接决定了压印图形的最小分辨率。使用具有高度均匀、100nm级孔洞阵列结构的多孔氧化铝作为母版，使用基于液态浇铸的硅
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软模板的制作是紫外纳米压印中关键的技术，模版的分辨率直接决定了压印图形的最小分辨率。使用具有高度均匀、100nm级孔洞阵列结构的多孔氧化铝作为母版，使用基于液态浇铸的硅油稀释聚二甲基硅氧烷（硅油和聚二甲基硅氧烷的质量比为1：2）法制备出具有规则点阵结构的软模板。通过SEM和AFM表征发现，特征图形得到了有效转移，特征尺度保持在100nm左右。相对于传统的模板制备方法，此方法成本低、流程简单、适合大规模生产，是一种非常有前途的软模板制备方法。
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